半導体用語集
トレースガスモニタ
英語表記：trace gas monitor
N2、ArあるいはH2などに含まれる微量の不純物を連続的に測定する分析計器。CO、CO2、O2、
H2O、THCなどの不純物を監視する。測定原理には、ガスクロマトグラフ、非分散形赤外線吸収法、光散乱法などを組み合わせて用いる。
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