半導体用語集
特殊高圧ガス
英語表記：specified high pressure gas
特殊材料ガスのうち、自然発火性、分解爆発性あるいは高毒性といった特に危険な特性を有するアルシン、ジシラン、ジボラン、セレン化水素、ホスフィン、モノゲルマン、モノシランの7種のガス。高圧ガス保安法施行令で指定されており、消費に際して災害防止のために都道府県への届出などの義務が課せられている。
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