半導体用語集
減圧排気システム
英語表記：exhaust system
シリンダキャビネットや装置真空排気ポンプなどの特殊材料ガス漏洩が予測される箇所を、ブロワなどで常時減圧に排気するシステム。特に特殊高圧ガス用シリンダキャビネットについては、本システムの設置が義務づけられている。また、ウエットステーションなどにも使用されている。
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