半導体用語集
特殊材料ガス用パーティクルカウンタ
英語表記：special gases particle counter
特殊材料ガス中に含まれる微粒子の粒径と粒子数を計測する機器。流された特殊材料ガスにレーザ光を当てることによって、特殊材料ガス中の微粒子の散乱光を検出する方式を用いている。特殊材料ガスの毒性や発火性に対応するために、リークタイト構造となっている。
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