半導体用語集
統計的加熱
英語表記：statistical heating
外から高周波電界をプラズマにかけた時に電子が加熱される機構の一つ。粒子間衝突がまったくない場合、電界Eo sin wtの中で電子は単振動をする。すなわち、加速と減速を繰り返すのみで、時間平均すると運動エネルギーは一定で加熱されない。衝突がわすかでもあると電界と速度の位相がずれて電子のエネルギーが時間とともに増大する。これを衝突加熱またはジュール加熱という。しかし、衝突がまったくなくても何らかのランダム性が導入されると統計平均した時に加熱が起こることがあり、これを統計加熱と呼んでいる。たとえば容量結合型高周波放電では、シースの厚さが高周波で振動するために統計平均すると加熱が起こる。また、誘導型高周波放電でも表皮電界の中を熱運動して通過する電子によって統計加熱が起こる。
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