半導体用語集
トップリング
英語表記：toppuringu
マウント板を保持し荷重を均等に加えることができる上板。水冷機構を有しているものがある。回転させる方式に研磨定盤の回転方向に自転する追従方式と強制的に回転させる方式とがある。トップブロック、ヘッド、研磨ヘッドとも呼ばれる。
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