半導体用語集
エア加圧方式
英語表記：air pressure type
マウント板の加圧方式の中で空気圧を利用したエアシリンダによりトップリング上に荷重を加える方式。（時としてトップリングの荷重を軽減する方式にエアシリンダを服用させる減圧方式もある）
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