半導体用語集
トルク電流終点検出法
英語表記：torque current end point detection
キャリアヘッドや定盤の回転軸トルク変動を計測することで、研磨されるウェーハ表面と研磨パッド間の摩擦変化をモニターし終点を検出する手法。ヘッド及び定盤は安定した研磨レートを維持するために一定の角速度で駆動されており、摩擦係数の変化によって起こる角速度の変動を駆動電流を変化させることで絶えず補正している。このためモーター電流変動を計測することはウェーハ表面と研磨パッド間の摩擦係数変化を測定していることになる。一般的にはキャリアヘッド駆動用モーター電流を計測することが多いが、定盤側の計測で好結果が得られることもある。測定はホール効果を利用した電流センサーを用いるのが簡便であり、インバーター方式ではトルク信号を直接取り出せる場合もある。被研磨膜と下地膜間で大きな摩擦係数変化を生じる絶縁膜上の金属膜の研磨に広く利用されるが、窒化膜状の酸化膜やポリシリコン、酸化膜上のポリシリコン等の応用も実用化されている。
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