半導体用語集
トランバース滴下
英語表記：transverse dispense
レジスト吐出の始点をウェーハ旋回軸上とし、レジストノズルをウェーハ接線の垂直方向に移動させながらレジスト滴下を継続する塗布方法。レジストが高粘度で、回転慣性力によるウェーハ上のレジスト広がりが困難な場合に用いられる。
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