半導体用語集
裏面汚染転写
英語表記：backside contaminants transfer
バッチ式洗浄に於いて、一方向に並んだウェーハ表面は、隣のウェーハの裏面と向かい合っているため、その間の洗浄液等を介して裏面の汚れが表面に移る現象。
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