半導体用語集

裏面汚染転写

英語表記:backside contaminants transfer

バッチ式洗浄に於いて、一方向に並んだウェーハ表面は、隣のウェーハの裏面と向かい合っているため、その間の洗浄液等を介して裏面の汚れが表面に移る現象。


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