半導体用語集
デューティ比
英語表記：duty ratio
繰り返しパターンにおいて、パターン部の寸法と非パターン部の寸法の比をデユーティ比という。たとえば、ラインアンドスペースパターンの場合、デユ一ティ比(ライン幅とスペース幅の比)は1になる。ラインアンドスペースパターンにマスクバイアスを加える場合、バイアス量で表現する場合とデユーティ比で表現する場合とがある。
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