半導体用語集
表面清浄度
英語表記:surface cleanliness
表面に存在する僅かな汚染物の定量的な測定値で示した、きれいな表面のきれいさの度合。例えば粒子汚染は所定粒子径以上の粒子の1㎠当りの付着数、表面金属不純物は1㎠当りの原子数、有機分子汚れは1㎠当りの重量値や表面被覆度などで示す。
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