半導体用語集
回転注入
英語表記：rotational implant
ウェーハがその面中心を軸として回転しながら行うイオン注入。イオン注入中はウェーハが回転せず、一定量注入後、ウェーハを一定角度回転させた後注入を続けるものをステップ回転注入という。
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