半導体用語集
プラズマTEOS CVD
英語表記：plasma TEOS CVD
減圧CVDの反応室内に反応ガスとしてTEOSを供給し、電極間に高周波電圧を印加することでプラズマを発生させ、ウエーハ上にSiO₂膜を形成するCVD法。ドーピング材として、B、Pがもちいられることがある。
関連製品
「プラズマTEOS CVD」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「プラズマTEOS CVD」に関連する用語が存在しません。
「プラズマTEOS CVD」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
