半導体用語集

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半導体用語集

クヌッセンセル

英語表記:knudsen cell

Knudsen cellを略してKセルと呼ぶこともある。蒸発物質噴出口がオリフィス状になっており、最初に実験したクヌッセンの名にちなんで名づけられた。噴出する蒸発物質のフラックス分布はcosnθで表わされ、オリフィスの径dと厚みtに依存してnが変わる。小さくなるに従いnの値が大きくなり、指向性のある分布形状になる。t= 0の時、つまりオリフィスがなく点蒸発源の時、n= 1となり、分布はcosθになる。広い範囲に成膜する時にはオリフィスがない方がよい。このような蒸発源をラングミュアセル (Langmuir cell) と呼び、Kセルに対比してLセルと呼ぶこともある。