アライメント精度（alignment accuracy） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：alignment accuracy

自動アライメント装置でウェーハの位置と方向を自動調整した後、任意のダイをインデックス送りした時に生ずるX、Y又はθ方向の最大偏差。但し、インデックス送りの位置決め誤差を除く。