半導体用語集
MWBF
英語表記：mean wafers between failure
半導体デバイスの生産において、装置の信頼性を評価する基準のひとつ。装置が故障と故障の間に所定の機能を果たしている間のウェーハ生産枚数の平均値。故障間の平均ウェーハ処理枚数。全生産ウェーハ枚数をその間の故障回数で割った値。この計算には生産時のウェーハ枚数のみが使用されるが、ある状態から生産状態に変わろうとした時に発生する故障は、この計算に含まれる。
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