半導体用語集
レジスト耐熱性
英語表記：resist thermal stability
現像後のレジストパターンの断面形状が、その後の加熱処理によって、どの程度初期形状を維持できるかを示す指標。より高温まで形状維持できる状態を耐熱性が高い、耐熱性が良い、耐熱性があると表現する。
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