半導体用語集
レジスト耐熱性
英語表記：resist thermal stability
ウェーハ上でレジストパターンを形成したとき、そのパターンの断面形状が以後の熱によりどの程度初期の状態を維持できるかを示す度合い。”耐熱性が良い、耐熱性が有る、耐熱性が高い”は
より高温までパターン形状が保たれることを示す。
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