半導体用語集
スパッタイオンポンプ
英語表記：sputter ion pump
スパッタイオンポンプは平行に相対する陰極面とそ状の複数個
の陽極を置き、外部から陰極画に垂直に磁場を印加して構成される。スパッタイオンポンプは一種のペニング放電管である。通常陰極に一6～7㎸の電圧が印加され、陽極は接地される。
真空中の陰極内で生成された電子は磁カ線に沿って陰極面間を分子と衝突するまで往復運動する。ガス分子は電子によってイオン化され陰極面に打ち込まれ排気される。陰極材料としては、ゲッタ作用の強いTiが用いられる。イオンが陰極に打ち込まれる時、 陰極材料をスパッタする効果もある。スパッタされると陰極面が活性になるばかりでなく、陽極にもゲッタ作用のあるTiが付着し排気作用を持つようになる。
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