半導体用語集
不良回析メモリ フェイルメモリ
英語表記:failure analysis memory
ファンクショナルな試験による不良情報をテストサイクルごとに格納するメモリ。被測定デバイスの不良解析に用いられる。なお、不良解析メモリの一部でデバイスのフェイルセルアドレスを格納するメモリをAFM(アドレスフェイルメモリ)といい、デバイスにフェイルが発生した時にパターンジェネレータが発生した各種パターンを格納するメモリをDFM(データフェイルメモリ)という。
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