半導体用語集
遠心乾燥装置 スピンドライヤ
英語表記：centrifugal drying equipment spin rryer
しみのない乾燥ができ、ウェーハの除電効果も見られる。使用IPAの水分管理と可燃性に対する安全対策が重要である。一方不燃性混合溶媒パーフロロカーボン/トリフロロエタノールをIPAに代用する方法も実用化されている。
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