半導体用語集
解像度 解像力 解像線幅
英語表記：resolution
基板上に幅、間隔が同一の線状レジストパターンを形成したときの実用しうる最小線幅のことで、下記の数式で求められる。
K1：係数 λ：波長 NA：開口数
K1が0.5の場合を限界解像度として扱うが、一般的にK1は0.6～0.7を用いている。
関連製品
「解像度 解像力 解像線幅」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「解像度 解像力 解像線幅」に関連する用語が存在しません。
「解像度 解像力 解像線幅」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
