半導体用語集
耐圧型インライン電気伝導度計
英語表記:in-line type electrical conductivity meter (with standing high pressure)
常温常圧下でガス状の物質を加圧液化し、その電気伝導度を連続的にその場でモニタする機器。液化ガスの物性評価や液化ガス中の不純物計測に用いる。電気伝導度セルの耐圧は80㎏/cm2であり、比誘電率が8以下の液体まで計測可能である。
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