半導体用語集
ファラデー系
英語表記：faraday system
サプレッション電極、カレントインテグレータに連結したファラデーカップ及びターゲットの基本構成をとり、ターゲットへ入射するイオンビームの電流量を検出する系。放出二次電子は、エレクトロンサプレッサでファラデーカップにもどされるため、電流量測定の誤差は生じない。
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