半導体用語集
プラテン
英語表記：platen
枚葉処理のエンドステーションで、搬送されてきたウェーハを保持し、注入位置へウェーハをセットするウェーハ保持版。通常、プラテンには冷媒が循環しウェーハ冷却を行う。また、ウェーハを保持したプラテンは、注入時ファラデー系の一部として機能するものもある。
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