半導体用語集
研磨定盤
英語表記：turn table platen
研磨布を貼り付ける円板。化学的に浸されない材質（例、ステンレス鋼、セラミックス、低熱膨張材）で出来ている。研磨熱の発生を防ぐため定盤を一定の温度に保つよう温度検出機構と水冷機構を持ったものもある。下盤、下定盤、プラテンとも呼ばれる。
関連製品
「研磨定盤」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
