エンドステーション（end-station） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：end-station

ウェーハ搬送系、ロード、アンロード系、注入室等の総称。ウェーハディスクを機械走査するバッチ処理方式と、ウェーハをハンドリングしてプラテンで保持して注入を行う枚葉処理方式都がある。