半導体用語集
純水冷却
英語表記：deionized water cooling
イオン注入装置の高電圧ターミナル内及びエンドステーション系の純水による冷却。純水冷却は絶縁性の良さを理由に用いられていたフロンに代わり使用されるようになった。耐電圧やビーム計測エラーを考慮して純水の比抵抗を管理する必要がある。
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