半導体用語集
ビーム電流量 イオン電流量
英語表記：beam current ion current
イオンビームの量をイオンが照射される単位時間当りに運ぶ電荷量、即ち、電流で表したもの。特に、ターゲットにおいて試料に照射されるイオンビームの量のことを言う。多価イオンからなるイオンビームの場合、その電流量自体で表す場合と、電流量をそのイオンの価数で除した数値で表す場合とがあり、それぞれeA（エレクトリックアンペア）、pA（パーティクルアンペア）などと表す。
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