半導体用語集
逆RIEラグ
英語表記：inverse RIE lag
添加ガス及びエッチングによって発生する反応生成物によって、狭い溝・穴のエッチング速度が広い部分に較べて上がる現象。エッチング条件を最適化することで、RIEラグを減少させエッチング速度の疎密間差を減少させることが出来る。
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