半導体用語集
ガスボックス
英語表記：gas box
イオン発生用ガスボトルの収納箱。通常3~4本のガスボトルが収納される。各ガスラインは、ガスボトル、減圧弁、ストップ弁及び流量調節弁などから構成される。毒性ガスを使用するため、局所排気などガス漏れに対する安全対策が施されている。
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