半導体用語集
ガス導入系
英語表記：gas feed system
イオン源にガスを導入するための系。ガスボックスからイオン源までのガス導入配管と、ガスボックスとの2部分より成る。通常複数のガスラインが設けられており、注入イオンに合わせて、使用ラインを選択する。
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