半導体用語集
高電圧ターミナル
英語表記：high voltage terminal
イオンエネルギーを高めるため、接地電位より加速電圧が印加されるターミナル。後段下層方式を探るイオン注入装置においては、ガス導入系、イオン源及び質量分析系が収められている。
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