半導体用語集
ドレッサ
英語表記：dresser
研磨布の特性を維持するために行われるドレッシング用の工具。研磨布の種類に応じて様々な種類や形状のものが使われる。CMPで一般的に使用されている発泡ポリウレタンパッドの場合、研磨布表面の微細孔に加工屑、反応生成物などで目詰まりが生じると、加工速度或いは平坦性、均一性が劣化するため、表面を削りとって研磨布の機能を再生するために用いられる。金属円盤或いは網状円盤の表面にダイヤモンドをNi電着した固定砥粒の砥石が一般的である。しかし、ダイヤモンドの密着法では砥粒の脱落による傷発生や固定材の溶出による金属汚染が問題になるので、ダイヤモンド砥粒を固定した（或いは凹凸上の）表面をダイヤモンドでCVD膜でコーティングしたものも使われる。また、溶着砥石や溝入セラミックスを適用する例もある。その他に、超音波や超高圧純水により、研磨布表面に目詰まりした物を除去するような研磨布表面を削り取らない方法も提案されている。
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