半導体用語集
真空紫外線照射除電装置
英語表記：deep ultraviolet charge neutralizer
重水素ランプから照射される真空紫外線を除電対象物近傍の気体分子に当て、N2⁺イオンなどと電子を生成し、帯電物体表面の電荷を逆極性イオンで中和・除電する装置。除電が困難であった真空・
減圧下や不活性ガス雰囲気で特に有効である。
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