半導体用語集
除電装置
英語表記：charge neutralizer
帯電している物品から静電気を素早く除電する装置。接地による除電が有効でない絶縁体や動く対象物にも有効で、イオナイザ、真空紫外線照射除電装置、軟X線照射除電装置などがあり、使用雰囲気により使い分けられる。
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