半導体用語集
軟X線照射除電装置
英語表記：soft-X-ray charge neutralizer
エネルギーの高い軟Ｘ線で除電対象物近傍の気体分子を正負にイオン化し、帯電物体表面の電荷を逆極性のイオンで中和・除電する装置。一般大気圧の空気雰囲気や不活性ガス雰囲気で有効である。
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