半導体用語集
密閉循環式冷却水設備
英語表記：closed circuit condensing water system closed circuit cooling water system
冷却塔または熱交換器により冷やされた冷却水を送水ポンプで半導体製造装置などの冷却すべき対象物に送り、冷却後も大気に開放することなく戻す送水方式の冷却水設備。冷却すべき対象物に背圧が加わるので、耐圧の確認が必要である。
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