半導体用語集
ノズルスキャン
英語表記：nozzle scan
レジストの塗布や現像において、ノズルを原点からウェーハ中心（または周辺）まで移動させ、薬液を吐出すること。薬液吐出中にノズルを移動させることもできる。
関連製品
「ノズルスキャン」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ノズルスキャン」に関連する用語が存在しません。
「ノズルスキャン」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
