半導体用語集
非クロムエッチング
英語表記：non Cr etching
シリコン単結晶の欠陥を光学的に評価する方法の一種。六価クロムを含む混酸は環境への影響が懸念されるため、六価クロムを使用しない選択エッチング液が、開発されている。代表的な液組成は、HF：HNO3：CH3COOH：H2O=1：12.7：3：5.7である。実際には種類が多く、詳細はJIS H 0609(1999)を参照のこと。
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