半導体用語集
反射防止膜
英語表記： anti-reflective coating
レジストパターンの光学起因の変形を軽減するためにレジスト上層または下層に塗布される膜。この膜は紫外光を吸収もしくは減衰させる特徴を持ち、パターニング露光時に発生する定在波やハレーションを減少させ、レジストの矩形化を図る。レジスト塗布装置でスピン塗布される有機系の液状の材料と、化学蒸着法により成膜される無機系の材料がある。レジスト膜の上に置かれたものを
Top-ARC、レジスト膜の下に置かれ たものをBottom-ARCまたはARL と区別する場合もある。
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