半導体用語集
重ね合せ精度 レジストレーション精度
英語表記：overlay accuracy
基板上にパターンを形成し、次工程でさらにパターンを形成したときの相対的な位置精度。全パターンを形成したときの相対的な位置精度。全パターン形成工程を終了した基板について、パターン間の相対的な位置精度は、重ね合せ精度に対応して、トータルオーバレイ精度という。
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