半導体用語集

酸化還元電位

英語表記:oxidation reduction potential

溶液の酸化力の強さを表す量。電子の移動を伴う酸化還元反応が生じている溶液中に、白金のようなそれ自身としては電極反応に関与しない電極を挿入したとき、電極と溶液の間に生じる電位をいう。通常は標準水素電極を基準にして決められる。一般に酸化力が強い場合には酸化還元電位は高くなり、一方、還元力が強い場合には低くなる。したがって、酸化還元電位を測定することによって、どのような反応が生じているかを知ることができる。また、酸化還元電位は溶液中の水素イオン濃度、すなわちpHによって変化するので、金属材料の腐食、溶解現象の解析に重要な指針となる。Cu配線のCMPにおいてはpHー電位図をもとに、CMPのスラリーあるいは洗浄液の開発が行われている。



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