半導体用語集
電解イオン水製造装置
英語表記：electrolytic ionized water(EIW) production equipment
超純水を電気分解し、酸化還元電位（ORP）の高いアノード水（陽極水）とORPの低いカソード水（陰極水）を作る装置。アノード水はウェーハ表面の金属除去に、カソード水は微粒子の除去に効果があると言われている。
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