半導体用語集
オゾン水
英語表記：ozonized water
オゾン水を水または超純水に溶存させたもの。通常の水に比べて高い酸化力と酸化還元電位を持つ。この性質を利用してパーティクルや有機物の除去、シリコンの表面酸化、金属汚染の除去などの洗浄に使用されることが多い。オゾンガスの発生手段としては、一般に放電法と水電解法がある。前者はガス配管から供給された酸素ガスから放電によってオゾンガスを生成されるもので、後者は水の電気分解により生成させるものである。オゾンガスは、テフロンなど耐酸化性の強い膜を介して気液接触により水中に溶存される。
関連製品
「オゾン水」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「オゾン水」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
