半導体用語集
揺動
英語表記：oscillation
ウェーハと研磨布の相対速度が同一であれば、ウェーハ面内どの位置を見ても同じ距離だけ研磨布と接触することとなり均一研磨が行われる。一方、溝加工した研磨布表面のパターンは規則正しくできているため、そのパターンの影響がウェーハ表面に現れる。この影響を揺動により少くする効果がある。また、スラリーの供給方法にもよるが、一般的な滴下方法は、スラリーのウェーハへの均一回り込みを良くする効果もある。揺動幅としては、最大でも研磨布パターンの1ピッチ以内に設定することが多く、揺動周波数は1～2Hz程度で、揺動波形の制御には正弦波あるいは台形制御が行われている。
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