半導体用語集
カードル
英語表記：bundled
47ℓ以上の内容積を有するシリンダを20本程度集合させた容器。各々のシリンダは、配管で連結されており一つの接続口にまとめられている。ガスの充填量が多い上にシリンダの交換頻度が低滅可能なため、大量に使用されるガスに対して採用されることが多い。
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