半導体用語集
ウェーハ 自動移動装置
英語表記：wafer automatic transfer system
カセットから各処理装置へウェーハを1枚ずつ又は複数枚ずつ自動的に移しかえる装置。カセットステージ、ウェーハ搬送ロボット及びそのインターフェイスで構成され、カセット搬送ロボットと組み合わせて使用されることが多い。
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