半導体用語集
自公転治具 プラネタリ治具
英語表記：rotary and revolutionary
真空蒸着装置において使用されるウェーハ取付治具の一種。蒸発源に対し、複数個（通常3個）のドーム状ウェーハ取付治具を配し、蒸着中、各ドームの自転、及び公転を行わせるもので広い面積にわたって均一な厚さの膜を得ると同時に、ステップカバレージ効果にすぐれる。
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