半導体用語集
DSA
英語表記：Directed Self Align
DSAは、Directed Self Align（制限された自己整列と言う意味）の略で、高分子のポリマーを塗布して加熱すれば微細パターンになると言う楽しい方法である。ポリマーとして、一般にPS-PMMA（Polystyrene -Polymethyl methacrylate）などを結合した分子で、PSとPMMAは水と油のように相溶性が低く反発する。薄く塗布して加熱すると、等間隔に並んでくれる。ガイドを設けておくと、それに沿って整列し、2種類のポリマーが並行して並ぶ。1種類のポリマーを現像して剥離すれば、微細なラインのパターンが得られる。比較的ラフなパターンをガイドにして、それより微細なラインが得られるので、次世代の微細パターンを得るリソグラフィとして期待されている。
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